消息：万业企业多款刻蚀机中标上海积塔项目

8月2日，中国国际招标网显示，万业企业旗下嘉芯闳扬公司和嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体特色工艺生产线项目10台刻蚀设备。

图：万业企业

其中嘉芯闳扬公司中标1台金属等离子刻蚀机、4台氮化硅等离子刻蚀机；嘉芯迦能公司中标2台金属等离子刻蚀机和3台侧墙等离子刻蚀机。

近期，万业企业旗下快速热处理设备（RTP）、薄膜沉积设备、刻蚀设备已相继成功跻身上海积塔特色工艺产线。

图：上海积塔中标公告

7月29日，据上海积塔半导体设备中标结果公告显示，万业企业旗下嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目7台薄膜沉积设备，包括6台高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)和1台二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)。

今年上半年，万业企业及控股子公司累计新增集成电路设备订单超7.5亿元，集成电路专用设备制造业务收入较上年同期增加约150%，主要受益于中国本土集成电路晶圆厂加速扩产，旗下低能大束流离子及高能注入机顺利完成客户交付，多家客户新签设备采购订单等因素影响。

图：凯世通宽幅大束流离子注入机

现阶段，万业企业正向集成电路前道设备领域加速部署。公司控股子公司凯世通在2022年度第一季度获得重要客户多台12英寸集成电路设备的批量订单，包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机。

4月下旬，凯世通进入上海市经信委首批复工复产白名单，向客户顺利交付了批量订单中的首批多套大束流离子注入机，后续将按期交付节奏稳定出货。

2021年迄今，凯世通研发的4种不同型号的离子注入机设备已相继在客户端成功取得验证及验收，包括低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机以及高能离子注入机。